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十多年前开始在真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空，效果满意。这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中。将低温泵并入真空系统中，达到清洁的超高真空环境。本文...
